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Lehrstuhl für Intelligente Mikrosysteme - Prof. Dr.-Ing. Horst Fiedler

Der Lehrstuhl für Intelligente Mikrosysteme stellt sich vor.

Vorstellung_IMS

Die Erforschung zukunftsweisender, integrierter Systeme bildet den Schwerpunkt des Fachgebietes. Hierbei ermöglicht die enge Verzahnung zwischen Design, Herstellung und Analyse eine erfolgreiche Realisierung und Bewertung innovativer Bauelemente, Sensoren und Aktoren, die mit fortschrittlicher Mikro- und Nanoelektronik kombiniert werden.

Der Lehrstuhl für Intelligente Mikrosysteme verfügt über eine moderne Infrastruktur, die fortlaufend im Hinblick auf aktuelle Forschungsaufgaben ergänzt wird. Die Grundlage für die Herstellung neuer, intelligenter Mikrosysteme bildet dabei ein CMOS-Fertigungsprozess, der um entsprechende Module erweitert wird.

  • CMOS kompatible Integration von MEMS/NEMS Komponenten
  • Integration von Hochleistungs- und Hochspannungselementen
  • Speziallösungen für kritische Betriebsumgebungen
  • Rapid Prototyping nanoskaliger Bauelemente mittels Elektronenstrahllithographie 


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