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Technologien der Mikro- und Nanotechnik - (N.N.)

Das Arbeitsgebiet Technologien der Mikro- und Nanotechnik stellt sich vor.

Vorstellung_TMN

Während noch vor wenigen Jahren die Planartechnologie in erster Linie zur Herstellung integrierter Schaltungen genutzt wurde, hat sie sich inzwischen zu einer Schlüsseltechnologie entwickelt. Neben der Herstellung mikromechanischer Systeme verspricht sie zukünftig auch die Integration zahlreicher weiterer Komponenten. In Dünnfilmtechnik hergestellte Sensoren, Antennen, Generatoren oder Mikrofluidikkomponenten stellen nur einige Beispiele der nahezu unbegrenzt erscheinenden Möglichkeiten dar. Das Fachgebiet beschäftigt sich neben dem Systementwurf vor allem mit der Untersuchung neuartiger Materialien und Herstellungsverfahren:

  • Herstellung und Integration von Nanosensoren
  • Gasdetektoren in Dünnfilmtechnik
  • Herstellung thermoelektrischer Generatoren und Kühler auf Basis neuartiger, nanostrukturierter Metalle und Halbleiter
  • Untersuchung neuartiger 2D-Materialien
  • Plasmonische Sensoren


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